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1、硅的测试方法：
化学分析通过化学方法测定硅的纯度，如酸碱滴定法、重量法等。
物理测试利用物理性质来测试硅的性质，如硬度测试、折射率测试等。
电学性能测试通过测量硅的电导率、电阻率等参数来评估其电学性能。
光学性能测试利用光谱分析、发光效率测试等方法评估硅的光学性能。
2、硅片电阻率的测试仪：
四探针测试仪这是一种常用的测试硅片等半导体材料电阻率的设备，通过四根探针接触样品，测量电流和电压来求得电阻率。
涡流电导仪这是一种非接触式的电阻率测量设备，适用于测量各种形状的硅材料，它通过测量材料表面的涡流电导来确定电阻率。
霍尔效应测试仪这种设备可以用于测量硅材料的霍尔效应，进一步得到材料的电阻率、载流子浓度等参数。
进行硅测试时，应确保测试环境的洁净和稳定，避免外界因素对测试结果的影响，使用测试仪时，需按照设备操作手册进行规范操作，以确保测试结果的准确性，对于高精度的测试需求，可能还需要对设备进行定期校准和维护。